Nitruro de silicio de metal de alto nivel

Nitruro de silicioLas películas delgadas tienen una estructura densa, alta resistencia y buena resistencia al desgaste, y pueden usarse como componentes estructurales en dispositivos MEMS. El módulo y la dureza de los jóvenes de las películas de nitruro de silicio se probaron mediante el método PECVD, y se analizaron los efectos de la temperatura de deposición y la relación de flujo de gas de reacción en el módulo de Young y la dureza de las películas. La película de nitruro de silicio se usó como un haz de suspensión para fabricar interruptores RF MEMS.

1.Nitruro de silicioLas cerámicas son cerámicas estructurales de alta temperatura y de alta resistencia con amplias perspectivas de desarrollo. Tiene un alto rendimiento (como alta resistencia, buena estabilidad de choque térmico, dureza de alta fatiga, alta resistencia a la flexión a temperatura ambiente, resistencia al desgaste, resistencia a la oxidación, resistencia a la corrosión, etc.), y se ha utilizado ampliamente en todos los ámbitos de la vida. Los métodos de preparación del nitruro de silicio incluyen principalmente sinterización de reacción (RS), sinterización de presión caliente (HPS), sinterización de presión atmosférica (PLS) y sinterización de presión neumática (GPS). En la actualidad, el principal problema es que los productos cerámicos de nitruro de silicio tienen bajo dureza y alto costo. En el futuro, es necesario mejorar los procesos de molienda, moldeo y sinterización y la composición de nitruro de silicio y carburo de silicio para desarrollar una mejor cerámica de nitruro de silicio.

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