Metal de silicio de metal de alto nivel 553

Un método autoalineante para la fabricación de Silicon Metal 553 ise usa para formar una estructura de puerta y una región de fuente/drenaje en el sustrato en secuencia. Después de eso, el paso de implantación de iones se lleva a cabo para implantar iones metálicos en la superficie de la estructura de la puerta y la superficie de la región de fuente/drenaje. Luego, se llevan a cabo dos procesos de tratamiento térmico para silicificar los iones metálicos y el silicio en la superficie de la estructura de la puerta y la superficie de la región de fuente/drenaje, y formar una capa de silicida metálica altamente conductora en la superficie de la estructura de la puerta y La superficie de la región de fuente/drenaje. Entre ellos, los iones metálicos pueden ser cobalto, titanio, níquel, platino o paladio.

1.Un método para eliminar Boron enSilicon Metal 553en el cucharón de transferencia. Se comprende: en primer lugar, el metal de silicio líquido reducido en el horno sumergido se transfiere al cucharón de transferencia; Luego, el gas mixto precalentado se sopla en el metal de silicio líquido desde el fondo del cucharón de transferencia, y el gas mixto está compuesto de oxígeno de alta pureza, vapor de agua, argón; Después de la reacción completa y la eliminación de impurezas, el metal de silicio líquido fluye desde el fondo del cucharón de transferencia y está fundido para obtener metal de silicio de alta pureza. La presente invención sopla el oxígeno de alta pureza, el vapor de agua y el argón de gas mezclado desde el fondo del cucharón de transferencia hacia el metal de silicio en el estado fundido al precalentar el oxígeno de alta pureza a alta temperatura, y el efecto de eliminar el boro y el fósforo y el fósforo Las impurezas son obvias, y la otra parte de las impurezas se oxidan para generar la sustancia fácil de jugar que el gas o el flotador En la superficie del metal de silicio líquido, de modo que las impurezas en el metal de silicio se reducen significativamente. En comparación con otros métodos de eliminación de boro, esta tecnología tiene ventajas económicas obvias, que pueden reducir en gran medida el consumo de energía, acortar el proceso de eliminación de impurezas y darse cuenta de la producción industrial de metal de silicio de bajo costo y alta pureza.

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